真空滲碳熱處理是一種在汽車變速箱齒輪和柴油噴嘴等關鍵零部件進行滲碳處理的工藝，相比于傳統的氣體滲碳技術，具有更高的均勻性和精度，尤其對于齒輪壁厚有差異的零件，能大大減少滲碳深度不均勻的問題。

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真空滲碳熱處理的原理在于，在低于常壓的滲碳環境中，利用固態或液態的活性碳原子在高溫下向零件表面擴散并吸附，形成滲碳層，此技術的關鍵點在于真空環境、加熱速度和碳的活性。
在真空環境中，零件不會被氧化，同時氣氛的壓力降低也會減少氣體的流動，使得碳原子更容易向零件表面擴散，加熱速度的調整可以控制滲碳的速度和深度，而碳的活性則會影響滲碳的效果。
真空滲碳熱處理有許多優點。
首先，它可以提高零件的耐磨性和抗疲勞性，由于滲碳層含有高硬度的碳化物，這些碳化物能夠有效地提高零件的硬度，同時也增強了零件的耐磨性。
其次，它可以提高零件的抗腐蝕性，滲碳處理后，表面形成一層致密的氧化膜，能夠有效地防止腐蝕。
此外，真空滲碳熱處理還可以減少零件變形和開裂的風險，由于真空環境中沒有氧氣的存在，因此不會出現氧化和開裂等問題。