模具鋼材真空熱處理加熱與預熱溫度。真空熱處理的加熱溫度為1000--1100ºC時，應在800ºC左右進行一次預熱。加熱溫度高于1200ºC時，形狀簡單，小型的零件，在850ºC進行一次預熱：較大的或形狀復雜的零件，應進行兩次預熱。第一次500-600ºC：第二次850ºC左右。
模具鋼材真空熱處理并減少模具的變形及開裂的傾向，使模具在熱處理后具有較高的機械性能及耐磨性.若退火時加熱不足，在久熱組織中為細小片狀珠光體分散在細粒狀珠光體基體中;若在退火時加熱，在粗大球狀珠光體的基體上存在著粗片珠光體，大量粗片狀珠光體的存在將使硬度提高，切削加工性能變壞，還將使模具在淬火時變形和開裂的傾向增大。
保溫時間。由于真空加熱主要靠輻射，而低溫時輻射加熱較慢，故平均加熱速度比油對流的爐子慢，加熱時間相應要延長，一般認為真空加熱時間為鹽浴爐的6倍；空氣爐加熱時間的2倍。