真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空。

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真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理，它是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，熱處理質(zhì)量大大提高。
與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。
真空熱處理過(guò)程中，控制加熱溫度的方法主要有以下兩種：
設(shè)定溫度和加熱速率：在真空熱處理設(shè)備中，需要先設(shè)定所需溫度和加熱速率。這些參數(shù)通常基于材料的類型和所需要的性能進(jìn)行選擇。通常，加熱速率在5攝氏度/分鐘到20攝氏度/分鐘之間。
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度：爐內(nèi)應(yīng)該有一個(gè)精確的溫度傳感器，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度并將數(shù)據(jù)反饋給控制系統(tǒng)。該控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定值和實(shí)際溫度值之間的差異進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，以確保溫度持續(xù)穩(wěn)定。