真空熱處理是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。

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由于在真空加熱中，有脫氣、脫脂、清除銹跡的作用，溶解于金屬中的氣體容易排出去,所以真空退火后的零件表面清潔、光亮，真空退火時經過壓力加工產生變形的晶粒得到恢復，同時形成新的晶粒，使得組織得到均勻細化，因而改變了材料的力學性能。
下面看一看真空熱處理技術應用范圍在于哪？
(1)難熔金屬的退火。鉬、鎢、鉭、鈷、釩、鋯等金屬熔點很高，而且又極易氧化，易被耐火材料污染，在加工時強度和硬度又很高,如果其中含有氫、氧、氮等氣體，會使材料延展性變差，為了把它們變成型材，則必須經過真空退火之后，軟化了這些材料，再進行壓力加工。
(2)軟磁合金的退火。軟磁合金一般采用真空熔煉和真空軋制獲得,因為它在溫度、壓力、輻射和機械負荷的作用下，還必須保證有穩定的磁性,因此需要用真空退火處理
(3)硅鋼片的退火。為了排除硅鋼片中的氫、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體,清除氧化物和硫化物,消除內應力和晶界畸變,提高磁感應強度,降低單位鐵損,需要真空退火。
(4)鐵鎳合金和鐵硅合金的退火。日的是改善組織結構,提高韌性
(5)電工鋼的退火。目的是提高塑性和均勻磁性
(6)不銹鋼的退火。目的是提高不銹鋼的抗晶間腐蝕能力
(7)結構鋼的退火。目的是提高強度和表面光亮度。
(8)鋼絲及熱電偶絲的退火。目的是獲得光亮的表面,消除加工應力,去除金屬絲中含有的氮和氧等有害氣