?1.離子注入

    　　離子注人與其他表面強(qiáng)化技術(shù)相比，具有以下的顯著優(yōu)點(diǎn)：(1)離子注人后的零件，能很好地保持原有的尺寸精度和表面粗糙度，不需要再做其它表面加工處理,很適合于航空軸承等精密零件生產(chǎn)的最后一道工序；(2)原則上不受冶金學(xué)或平衡相圖的限制，可根據(jù)零件的工作條件和技術(shù)要求，選擇需要的任何注人元素，注人劑量和能量，獲得預(yù)期的高耐磨性或耐腐蝕性等特殊要求的軸承表面，靈活性大，實(shí)用性強(qiáng)，對(duì)基體材料的選擇也可以適當(dāng)放寬，從而可節(jié)省貴重的高合金鋼材和其它貴重金屬材料；(3)注入層與基體材料結(jié)合牢固可靠、無(wú)明顯界面，在使用中不會(huì)產(chǎn)生脫落和剝皮現(xiàn)象，這對(duì)提高軸承壽命和工作可靠性來(lái)說(shuō)非常重要；(4)離子注人是一個(gè)非高溫過(guò)程，可以在較低的溫度下完成，零件不會(huì)發(fā)生回火、變形和表面氧化；（5）具有很好的可控性和重復(fù)性。歐美等國(guó)對(duì)離子注入進(jìn)行了大量的研究[30~37]。

    　　美國(guó)海軍實(shí)驗(yàn)室從1979年起進(jìn)行了軸承零件離子注入的研究，英國(guó)、丹麥和葡萄牙等國(guó)從1989年開(kāi)始進(jìn)行與美國(guó)海軍實(shí)驗(yàn)室類(lèi)似的工作。結(jié)果表明：注入鉻離子能顯著提高M(jìn)50鋼的抗腐蝕性能，而且抗接觸疲勞性能也有所提高；此外還用注人硼離子來(lái)提高儀表軸承的抗磨損能力；對(duì)軸承鋼52100進(jìn)行氮等離子源離子注入（PSⅡ）后在表面形成薄層氮化物，可提高軸承鋼的耐蝕性，用于代替昂貴的不銹鋼；對(duì)SUS440C不銹鋼球軸承進(jìn)行氮、硼離子注入可減小球軸承微小擺動(dòng)的微振磨損及軸承的灰塵排放，另外，對(duì)不銹鋼進(jìn)行（Ti+N）或（Ta+N）等離子體浸沒(méi)離子注入（PSⅢ）可顯著提高其顯微硬度、耐磨性和壽命。

    　　2 表面涂覆

    　　表面涂覆技術(shù)包括：物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、射頻濺射（RF）、離子噴涂（Plasma spraying coating, PSC）、化學(xué)鍍等[38~42]。PVD與CVD相比，其工藝過(guò)程中被處理工件的溫生低，鍍后不需再進(jìn)行熱處理，再軸承零件的表面處理中得到較廣泛的應(yīng)用。100Cr6、440C等鋼制軸承零件經(jīng)PVD、CVD或RF鍍TiC、TiN、TiAlN等后，可提高軸承零件的耐磨性、接觸疲勞抗力，降低表面摩擦系數(shù)。

    　　SKF公司近年來(lái)開(kāi)發(fā)了兩種涂鍍技術(shù)：一是采用PVD在軸承套圈及滾動(dòng)體表面鍍硬度極高的金剛石結(jié)構(gòu)的碳（Diamond-Like Carbon, DLC），表面硬度比淬硬軸承鋼高40~80%、摩擦系數(shù)類(lèi)似于PTFE或MoS2，具有自潤(rùn)滑特性，且與基體結(jié)合良好、無(wú)剝落，軸承壽命、耐磨性大幅度提高，在斷油的情況下仍可正常工作，被稱(chēng)為“NoWear bearing”[38]; 二是采用PSC在軸承的外圈外圓面噴涂一層100μm后的氧化鋁，使軸承的絕緣能力高達(dá)1000V以上，通過(guò)增加氧化鋁的厚度使軸承具有更高絕緣能力。涂鍍的氧化鋁與基體結(jié)合牢固，還可提高軸承的耐蝕性，鍍后的軸承（INSOCOATTM bearing）可像一般軸承一樣進(jìn)行安裝[39]。

    　　低溫離子滲硫是20世紀(jì)80年代后期出現(xiàn)的表面改性技術(shù)。其基本原理與離子滲氮相似，在一定的真空度下，利用高壓直流電使含硫氣體電離，生成的硫離子轟擊工件表面，在工件表面與鐵反應(yīng)生成以FeS為主的10μm左右厚的硫化物層。硫化物是良好的固體潤(rùn)滑劑，有效地降低鋼件接觸表面的摩擦系數(shù)，且隨載荷增大，摩擦系數(shù)進(jìn)一步降低，因此可以大大提高重載下軸承的耐磨性，軸承的壽命可提高3倍左右。

    　　低溫磷化與滲硫的作用相似。通過(guò)把工件放置于40℃的TAP溶液（磷酸十三烷酸脂）中浸滲4h可在工件表面獲得0.05~0.25μm厚的Fe2O3和Fe4(P2O7)3的表面層，降低摩擦系數(shù)、提高耐磨性。經(jīng)磷化的M50鋼軸承在短期斷油的情況下不出現(xiàn)卡死，提高了軸承的可靠性[36]。

    　　擴(kuò)散滲鉻是用氣體方法（粉末法）在850~1100℃進(jìn)行，時(shí)間為1~9h，根據(jù)零件所用鋼種（ШХ15、95Х18、55СМ5ФА）及性能需要選用相應(yīng)的溫度和時(shí)間，在軸承生產(chǎn)及修復(fù)中均可使用。滲后擴(kuò)散層由Cr2(NC)3、(Cr,Fe)23C6及(Cr,Fe)7C3組成，層深16~27μm，硬度1650~1900HV。滲鉻并進(jìn)行常規(guī)熱處理后，耐熱性、耐蝕性、耐磨性及接觸疲勞強(qiáng)度均明顯提高[42]。

    　　3 表面加熱淬火

    　　感應(yīng)加熱表面淬火是使用較為廣泛的方法之一，原蘇聯(lián)對(duì)對(duì)這一工藝的理論和生產(chǎn)應(yīng)用開(kāi)展了較多的研究[43~48]，其主要應(yīng)用場(chǎng)合分兩類(lèi)：一是鐵路軸承的表面感應(yīng)加熱淬火，采用新材料ШХ4鋼制的套圈經(jīng)感應(yīng)加熱淬火后，表面為硬而耐磨的馬氏體組織，心部為韌性較好的索氏體、屈氏體，表面為高達(dá)500Mpa的壓應(yīng)力，其使用壽命比ШХ15СГ制軸承高1倍，并且完全消除了套圈使用時(shí)突然脆斷的現(xiàn)象，提高了軸承的可靠性，性能與低碳鋼滲碳淬火相似，但成本遠(yuǎn)低于后者。同時(shí)，也開(kāi)發(fā)出相應(yīng)的專(zhuān)用感應(yīng)器和淬火設(shè)備，并把這一材料及感應(yīng)淬火的成果推廣到要求耐磨和高韌性的軋機(jī)軸承等重載軸承；感應(yīng)加熱表面淬火的另一應(yīng)用是特大型軸承的熱處理，減少大型軸承套圈的淬火變形和硬度不均勻性，同時(shí)節(jié)省設(shè)備的投資費(fèi)用。日本[47]把表面感應(yīng)加熱淬火成功地應(yīng)用于汽車(chē)等速完向節(jié)的熱處理，包括階梯軸、殼體內(nèi)表面及滾道的淬火均由特制的感應(yīng)圈一次加熱完成。高頻熱處理和冷鍛技術(shù)的應(yīng)用使生產(chǎn)成本大大降低，產(chǎn)品的可靠性也大幅度提高。

    　　激光等高能束表面熱處理是近年來(lái)開(kāi)發(fā)的新的熱處理方法[49~50]，使用較多的CO2激光束。通過(guò)激光加熱可獲得0.25~2.0mm的硬化層，與其他表面硬化方法相比，其具有硬化層深度及位置控制精確、無(wú)變形等優(yōu)點(diǎn)。高碳鉻軸承鋼零件經(jīng)表面激光硬化后淬硬層的馬氏體極細(xì)小、碳化物分布更均勻、殘余奧氏體極少，比一般淬回火具有更高硬度和滑動(dòng)耐磨性。另外，激光等高能束還可作為表面涂覆工藝的熱源，一次可完成表面淬火和涂覆過(guò)程，尤其是近年來(lái)納米技術(shù)的發(fā)展，這一復(fù)合工藝過(guò)程在精密軸承零件的表面處理中將有廣闊的應(yīng)用前景。

    　　4 軸承熱處理裝備

    　　4.1 退火設(shè)備

    　　工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家早在20世紀(jì)六七十年代全面推廣推桿式和輥底式等溫球化退火爐，縮短退火周期，節(jié)約能源，提高退火質(zhì)量。隨著軸承零件加工技術(shù)的發(fā)展，精密鍛造及精密輾擴(kuò)（冷輾）工藝的采用，零件毛坯的加工精度越來(lái)越高，逐步推廣少無(wú)車(chē)削工藝，由此帶來(lái)了對(duì)保護(hù)氣氛退火的需求。工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已普遍采用保護(hù)氣氛退火，以減少退火后的機(jī)加工量，提高加工效率，節(jié)材節(jié)能，降低成本。

    　　4.2 常規(guī)馬氏體淬火的工裝設(shè)備

    　　傳統(tǒng)的加熱設(shè)備是不帶保護(hù)氣氛的箱式爐、鹽浴爐或井式爐，近幾十年來(lái)，馬氏體淬火的工裝設(shè)備發(fā)展主要集中在以下幾個(gè)方面：

    　　（1） 自動(dòng)化生產(chǎn)線

    　　目前，國(guó)外采用的自動(dòng)生產(chǎn)線按其結(jié)構(gòu)（或工件在爐中的運(yùn)動(dòng)方式）可分為：有馬弗網(wǎng)帶爐和無(wú)馬弗網(wǎng)帶爐、鑄鏈爐、輥底爐、滾筒爐系列生產(chǎn)線，從上料、前清洗、保護(hù)氣氛（或可控氣氛）下加熱、淬火、后清洗（有時(shí)還進(jìn)行二次深冷）及回火均自動(dòng)完成。自動(dòng)化程度及控制精度高，處理后工件的質(zhì)量均勻，有些生產(chǎn)線還配有在線檢測(cè)設(shè)備對(duì)處理后的工件進(jìn)行變形或質(zhì)量檢測(cè)與控制，整條熱處理生產(chǎn)線可作為軸承自動(dòng)生產(chǎn)線的一部分使用。不同的熱處理生產(chǎn)線根據(jù)其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)適用于不同類(lèi)型和尺寸軸承零件的熱處理，如網(wǎng)帶爐適用于中小型軸承套圈；輥底爐配有自動(dòng)升降淬火裝置，適用于尺寸較大的軸承零件；滾筒爐適用于滾動(dòng)體及小型套圈。

    　　（2） 多用爐

    　　多用爐把可控氣氛加熱和保護(hù)氣氛下淬火結(jié)合為一體，完成工件的無(wú)氧化淬火工藝過(guò)程，主要適用于小批量多品種的軸承零件熱處理。

    　　（3） 感應(yīng)加熱淬回火設(shè)備

    　　感應(yīng)加熱具有加熱速度快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，處理后的工件具有一些常規(guī)加熱所沒(méi)有的性能。設(shè)備體積小，易于集成到軸承生產(chǎn)線中，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。

    　　（4） 真空爐

    　　真空狀態(tài)下加熱可減少或避免工件的氧化，配合高壓氣淬可控制工件的冷卻及變形，避免了油淬帶來(lái)的環(huán)境污染問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)清潔熱處理，另外，真空熱處理后，工件的顯微組織更加細(xì)小均勻，表面與心部組織一致，硬度均勻，有利于軸承疲勞壽命的提高。

    　　（5） 淬火冷卻介質(zhì)及裝備

    　　淬火介質(zhì)可分為三大類(lèi)：油基、水基和氣體淬火介質(zhì)。油基淬火介質(zhì)是最常用的淬火介質(zhì)。普通的淬火油是N32或N15機(jī)械油，為提高其冷卻性能、抗老化性能、光亮性能、高溫性能等分別加入催冷劑、清洗劑、光亮劑、抗氧化劑，形成了快速油、快速光亮油、高溫分級(jí)等溫油等系列淬火油以應(yīng)用于不同尺寸和要求的軸承零件的淬火，另外還有低揮發(fā)性的真空淬火油。油基淬火介質(zhì)的缺點(diǎn)是淬火過(guò)程中產(chǎn)生油煙造成空氣污染、在隨后的清洗過(guò)程中造成水污染。

    　　水基淬火介質(zhì)是由有機(jī)聚合物、抗腐蝕劑和其他添加劑組成的水溶液。通過(guò)改變有機(jī)聚合物的類(lèi)型和濃度可得到不同的冷卻特性以適合于不同軸承零件的淬火冷卻要求，在淬火冷卻過(guò)程中，有機(jī)物附著在零件表面可減少零件淬火開(kāi)裂的危險(xiǎn)性，且不產(chǎn)生油煙，清洗方便，無(wú)污染，是淬火介質(zhì)的發(fā)展方向。其不足是抗老化性能不如油基淬火介質(zhì)，需對(duì)溶液經(jīng)常進(jìn)行測(cè)試，定期添加有機(jī)物溶液以保證其冷卻性能。

    　　氣體淬火是采用惰性氣體為介質(zhì)（常用的氮?dú)猓褖嚎s氣體通過(guò)特殊設(shè)計(jì)的噴嘴噴射到工件表面實(shí)現(xiàn)工件的淬火冷卻。通過(guò)調(diào)節(jié)氣體的壓力和噴嘴的結(jié)構(gòu)可以控制冷卻特性和變形，如Tinscher等人的研究[11]表明：當(dāng)?shù)獨(dú)獾牧魉龠_(dá)到100m/s時(shí)，其冷卻特性與油相近，當(dāng)對(duì)工件的表面的光亮度沒(méi)有特殊的要求時(shí)，可采用壓縮空氣作為淬火介質(zhì)，淬火時(shí)表面形成的3~5μm的氧化層可通過(guò)以后的磨加工去除掉。氣體淬火比水基淬火更潔凈，且成本更低，其關(guān)鍵技術(shù)是噴嘴的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

    　　淬火冷卻裝備是除淬火介質(zhì)外影響工件淬火效果的另一大因素。國(guó)外對(duì)常用的淬火油槽實(shí)行多參數(shù)控制，如油溫、油的冷卻特性、油的循環(huán)與攪拌的方向及速度、工件入油的方式等，以求得到最佳的淬火組織與性能，同時(shí)把變形減小到最小程度。日本NSK等著名軸承公司對(duì)淬火油進(jìn)行定期或在線檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果添加所需的添加劑或更新淬火油；另一方面，對(duì)淬火后工件的變形進(jìn)行在線檢測(cè)，把變形超差的工件自動(dòng)分檢出去，進(jìn)行矯正后再進(jìn)入下道工序，可大大減小工件的磨加工留量。另外，油槽中淬火介質(zhì)的冷卻逐步由水循環(huán)冷卻改為全風(fēng)冷，利用空氣作為冷卻介質(zhì)節(jié)省大量的水資源。

    　　多工位自動(dòng)淬火壓床也是國(guó)外普遍采用的淬火工裝，可自動(dòng)完成升降、上下料、噴油冷卻、油溫調(diào)節(jié)及張緊（或壓力）的調(diào)節(jié)等動(dòng)作，微機(jī)控制，生產(chǎn)節(jié)拍可調(diào)，可作為軸承自動(dòng)生產(chǎn)線的一部分適用。

    　　（6） 清洗設(shè)備

    　　清洗通常是油淬后的必備工序。連續(xù)生產(chǎn)線所用的清洗設(shè)備一般完成熱皂水浸泡、清水噴淋、熱風(fēng)烘干等過(guò)程，并帶有油水分離裝置。先進(jìn)的清洗設(shè)備中，在烘干前還加有二次冷卻裝置（配有制冷設(shè)備，溫度在5~10℃之間可調(diào)），以減少殘余奧氏體的含量，提高尺寸穩(wěn)定性。

    　　真空清洗是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的清洗設(shè)備。其利用淬火油等揮發(fā)性液體減壓后沸點(diǎn)下降和油、水、水蒸氣等有機(jī)液一起加熱其沸點(diǎn)亦下降的原理進(jìn)行清洗；另外，使用特殊的氣、液混合泵產(chǎn)生微小的空氣泡混入清洗液中，利用微氣泡在工件表面破裂時(shí)產(chǎn)生的爆破力破壞污漬和工件的結(jié)合力，從而進(jìn)一步提高真空清洗的效果。在前室清洗后，進(jìn)入后真空室，通過(guò)抽真空將殘存的油和水蒸發(fā)出來(lái)并進(jìn)行真空快速干燥。該類(lèi)清洗設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是：清洗效果好，尤其是對(duì)結(jié)構(gòu)復(fù)雜的零件，清洗效果更為顯著，清洗后工件表面光亮；安全、清潔，清洗液為清水，不加對(duì)環(huán)境有害的氯化物和石油類(lèi)溶劑；自動(dòng)化程度高，且可利用清洗加熱替代低溫回火，節(jié)省回火費(fèi)用。

    　　4.3貝氏體等溫淬火裝備

    　　根據(jù)軸承加工的特點(diǎn)，所使用的設(shè)備主要有兩大類(lèi)：自動(dòng)生產(chǎn)線和周期爐。

    　　（1）自動(dòng)生產(chǎn)線：品種少、批量大的軸承適合自動(dòng)化生產(chǎn)，如鐵路軸承的生產(chǎn)多使用自動(dòng)生產(chǎn)線。自動(dòng)生產(chǎn)線主要由保護(hù)氣氛加熱爐和等溫淬火槽組成，其中等溫淬火部分所用設(shè)備按運(yùn)送工件的動(dòng)作又可分為三類(lèi)：轉(zhuǎn)底、推盤(pán)及輸送帶式。由愛(ài)協(xié)林公司開(kāi)發(fā)的轉(zhuǎn)底、推盤(pán)式等溫淬火設(shè)備是把轉(zhuǎn)底或推盤(pán)機(jī)構(gòu)置于等溫鹽浴中，工件按一定的節(jié)拍進(jìn)出，記憶控制順序出料，動(dòng)作由PLC程序控制，該類(lèi)設(shè)備自動(dòng)化程度高，投資大；由沙菲公司開(kāi)發(fā)的輸送帶式等溫淬火自動(dòng)線與目前普遍使用的網(wǎng)帶式保護(hù)氣氛淬火自動(dòng)線結(jié)構(gòu)原理相似，只是所用淬火介質(zhì)為鹽浴，這類(lèi)設(shè)備一般只適用于小尺寸的零件。

    　　（2）周期式等溫淬火設(shè)備：軋機(jī)軸承由于品種多、批量小，中小型軋機(jī)軸承生產(chǎn)廠家多采用箱式爐+淬火冷卻槽+等溫槽+清洗槽，也有采用箱式爐+多個(gè)等溫槽。該配置投資少，適用性強(qiáng)，但勞動(dòng)強(qiáng)度大，安全性差。易普森公司把多用爐和貝氏體淬火等溫結(jié)合為一體,避免了由加熱設(shè)備到等溫淬火之間的氧化,且等溫采用空氣爐,配一套殘鹽回收系統(tǒng),避免了殘鹽的環(huán)境污染。除此之外，可利用多用爐的特點(diǎn)進(jìn)行小批量多品種軸承零件的處理，克服了一般自動(dòng)等溫設(shè)備的尺寸限制。目前，在貝氏體等溫淬火大力推廣之際，該設(shè)備具有很大的推廣價(jià)值。

    　　4.4 保護(hù)氣氛及控制

    　　隨著對(duì)工件淬火后表面質(zhì)量要求的提高，保護(hù)（可控）氣氛加熱越來(lái)越普及，包括退火在內(nèi)的熱處理均采用保護(hù)（或可控）氣氛加熱。20世紀(jì)70年代，主要采用吸熱式氣氛。吸熱式氣氛是原料氣和空氣的混合氣體在催化劑的作用下部分反應(yīng)形成一種含18～23%CO、37～42%H2、余量N2的保護(hù)氣氛。80年代，國(guó)際能源危機(jī)給世界經(jīng)濟(jì)以巨大沖擊，氮基氣氛應(yīng)運(yùn)而生，氮-甲醇?xì)夥盏慕M份與吸熱式氣氛相近，以氮-甲醇為代表的氮基氣氛得到廣泛推廣。90年代，出現(xiàn)了把空氣和碳?xì)浠衔镏苯油ㄈ敫哂?00°C爐膛內(nèi)的產(chǎn)氣方法，即直生式氣氛。通過(guò)研究發(fā)現(xiàn)，這種含有高CH4成分的氣氛，雖然其氣體反應(yīng)達(dá)不到類(lèi)似于吸熱式氣氛的平衡程度，但其碳的傳輸能力還是由氣氛中CO與H2的含量來(lái)控制，用氧探頭結(jié)合CO2分析儀進(jìn)行碳勢(shì)控制是可以實(shí)現(xiàn)的。直生式氣氛的主要優(yōu)點(diǎn)是大量節(jié)省了原料氣消耗量，據(jù)統(tǒng)計(jì)這種氣氛無(wú)論用在周期式氣氛爐還是連續(xù)性氣氛爐，其原料氣消耗節(jié)省費(fèi)用70%左右。今天，全球約有300多臺(tái)套氣氛爐使用這種氣氛進(jìn)行滲碳、碳氮共滲、保護(hù)氣氛淬火等多種熱處理。

    　　近幾年的實(shí)際應(yīng)用表明，氧探頭的使用壽命是不定的，氧探頭信號(hào)的逐步漂移是固定電解質(zhì)的典型缺陷所致。由于這種漂移主要受爐子運(yùn)行工況的影響，而且漂移的開(kāi)始及大幅度的漂移是不可預(yù)見(jiàn)的，所以由氧探頭測(cè)量的碳勢(shì)與實(shí)際值之間差異也是不可預(yù)見(jiàn)的。因此，人們定期校驗(yàn)其測(cè)量精度，例如，一個(gè)星期一次，用鋼箔定碳片來(lái)檢測(cè)氧探頭信號(hào)是否失真，這真是一個(gè)麻煩的工作，不利于爐子實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化，有時(shí)甚至?xí)绊懻Ｉa(chǎn)。鑒于上述原因，Ipsen開(kāi)發(fā)了一個(gè)雙重測(cè)量系統(tǒng)。

    　　其中一個(gè)帶標(biāo)準(zhǔn)氧探頭用于正常的控制碳勢(shì)，另一個(gè)獨(dú)立測(cè)量系統(tǒng)用于檢測(cè)這個(gè)氧探頭的工作狀況，即這兩個(gè)系統(tǒng)分別測(cè)量氣氛的碳勢(shì)，當(dāng)結(jié)果出現(xiàn)很大偏差時(shí)，就會(huì)報(bào)警。這第二個(gè)測(cè)量系統(tǒng)工作元件可以是CO2紅外分析儀，也可以是一個(gè)微型氧探頭（λ-探頭），迄今為止，已有許多氣氛爐安裝了這種雙重測(cè)量系統(tǒng)。