為了縮短氮化周期，并使氮化工藝不受鋼種的約束，在近年間在原氮化工藝基礎上發展了軟氮化和離子氮化兩種新氮化工藝。
軟氮化熱處理實質上是以滲氮為主的低溫氮碳共滲，鋼的氮原子進入的一起，還有少數的碳原子進入，其處理結果與一般氣體氮化比較，滲層硬度較氮化低，脆性較小，故稱為軟氮化。

1、軟氮化熱處理辦法分為：氣體軟氮化、液體軟氮化及固體軟氮化三大類。目前國內生產中使用最廣泛的是氣體軟氮化。氣體軟氮化是在含有活性氮、碳原子的氣氛中進行低溫氮、碳共滲，常用的共滲介質有尿素、、氨氣和三乙醇胺，它們在軟氮化溫度下發生熱分化反響，發生活性氮、碳原子。活性氮、碳原子被工件外表吸收，經過擴散進入工件表層，然后獲得以氮為主的氮碳共滲層。
氣體軟氮化溫度常用560-570℃，因該溫度下氮化層硬度值最高。氮化時刻常為2-3小時，因為超越2.5小時，隨時刻延伸，氮化層深度添加很慢。

2、軟氮化層安排和軟氮化特色：鋼經軟氮化后，外表最外層可獲得幾微米至幾十微米的白亮層，它是由ε相、γ`相和含氮的滲碳體Fe3（C，N）所組成，次層為的擴散層，它主要是由γ`相和ε相組成。

軟氮化熱處理具有以下特色：
(1)、處理溫度低，時刻短，工件變形小。
(2)、不受鋼種約束，碳鋼、低合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金資料均可進行軟氮化處理。工件經軟氮化后的外表硬度與氮化工藝及資料有關。

3、能顯著地進步工件的疲勞強度、耐磨性和耐腐蝕性。在干沖突條件下還具有抗擦傷和抗咬合等性能。
4、因為軟氮化層不存在脆性ξ相，故氮化層硬而具有必定的韌性，不容易脫落。因而，目前生產中軟氮化巳廣泛使用于模具、量具、刀具（如：高速鋼刀具）等、曲軸、齒輪、氣缸套、機械結構件等耐磨工件的處理。