真空熱處理具有以下的優點：
真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結、表面處理等。
真空熱處理爐熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果，使模具變得相對光亮。
一般來說，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小，產品合格率高，并且工件真空熱處理后的硬度是普通熱處理的3-5倍。對于一些價值很高的精密工件，比如大型精密模具特別重要，真空熱處理大大提高了其使用壽命，最終結果原本企業一年使用10個精密模具，現在只需要使用2-3個精密模具。企業大大節約了生產成本,提高了經濟效益。
被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。相比普通熱處理的工作環境，真空熱處理的工作環境較好，操作安全，并且真空熱處理技術沒有污染和公害，是國際上公認的“綠色熱處理”。
